工业废气处理设备是利用臭气中，某一些物质易溶于水的热性，使得臭气成分直接与水接触，从而溶解于水来达到脱臭的目的，用水吸收法处理工业废气，工艺简单，管理方便，设备运转费用低，产生二次污染，需要对洗涤液进行处理，但是此方法净化效率低，需要与其他技术联合使用才能够达到更好的处理效果。
而低温等离子体是继固态，气态，业态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子能够被击穿，产生各种离子的混合体，放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体，工业废气处理设备的低温等离子体降解污染物的方法，其实就是利用这些高能电子和废气中的污染物作用，是污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应，以达到降解污染物的目的。
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